泰伯(TALBOT)光刻机

作为最著名的衍射效应之一，泰伯(Talbot)效应可以用于光刻技术中以制造周期性纳米结构。继I.-H. Lee等人，我们在六边形网格上构造了一个圆锥形光栅掩膜版，并以深度方式模拟了Talbot图像的生成。 特别是，由于光刻过程中使用的紫外光是非偏振的，因此我们在示例中演示了如何为VirtualLab Fusion中的光栅模拟建模非偏振光。
 

圆锥形相位掩模的Talbot图像
 

 

在VirtualLab Fusion中对带有圆锥体的相位掩模版进行了建模。检测到不同的Talbot图像，以使柱形图案位于主像平面中，而孔图案出现在次像平面中。 
 

用于光栅仿真的非偏振光–实例讨论
 

 

示范了在VirtualLab Fusion的光栅仿真建模中，如何以两个正交偏振态的平均值建模非偏振光的影响。

 

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