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干涉测量的非序列仿真

时间:2022-07-28 15:13来源:讯技光电作者: 技术部点击:次打印

Mirau干涉测量法是一种众所周知的技术，它可以以高达所用波长的百分之一的精度测量表面。为了充分研究和设计这样的系统，非顺序仿真方法很有帮助，因为它会自动将系统内部反射产生的干涉效应考虑在内。

因此，本周我们不仅展示了这样一个装置，还通过研究不同形状标准具的干涉效应来详细阐述了测量原理。

Mirau 干涉仪的仿真

在此用例中，我们通过非序列通道概念在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪，仿真了典型的干涉条纹图案。

具有平面或曲面的标准具建模

我们设置了具有平面和曲面的光学标准具。利用非序列场追迹技术，研究了干涉条纹的差异。

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